光譜橢偏儀顯微分光光度計

型號：SE-MSP

可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作，并且還具有通過微反射法與橢圓度計和微分光光度計相結合的*配置的小面積微反射法。TFProbe 3.3版本軟件將處理測量和分析。

對于某些應用（例如MEMS或半導體產品晶圓上的功能），希望有一個小的探測點。將顯微分光光度計與橢圓偏振光度計集成在一起后，工具的功能將大大擴展。SE-MSP型是為此目的而設計的。MSP在反射法模式下工作，并以法向入射角進行測量，這是對非法向入射角SE設置的補充。SE和MSP的波長范圍可以根據應用需求進行不同配置。所有選項都是可選的。

應用范圍：

•半導體制造（PR，氧化物，氮化物..）

•液晶顯示器（ITO，PR，液晶盒間隙…..）

•法醫(yī)，生物膜和材料

•油墨，礦物學，顏料，碳粉

•藥品，醫(yī)療器械

•光學涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

•半導體化合物

•MEMS / MOEMS中的功能膜

•非晶，納米和晶體硅

特征：

•易于使用，基于Window的軟件進行操作

•*光學設計可實現(xiàn)*系統(tǒng)性能

•使用SExxxBA選項以0.001度的分辨率自動更改入射角

•高功率光源，適用于寬帶應用

•基于陣列的探測器系統(tǒng)可確?？焖贉y量

•測量多層膜的厚度和折射率，允許用戶設計無限層的模型

•系統(tǒng)附帶全面的光學常數(shù)數(shù)據庫

••TFProbe 3.3軟件允許用戶為每膜使用NK表，色散或有效介質近似值（EMA）

•三種不同的用戶級別控制：工程師模式，系統(tǒng)服務模式和簡易用戶模式

•靈活的工程師模式，適用于各種配方設置和光學模型測試

•強大的一鍵式按鈕解決方案，可進行快速和常規(guī)的測量

•可配置的測量參數(shù)，操作簡便

•全自動系統(tǒng)校準和初始化

•直接從樣品信號獲得精確的樣品比對接口，無需外部光學器件

•精確的高度和傾斜度調整

•適用于許多不同類型，厚度不同的基材

•各種選件，附件可用于特殊配置，例如測繪臺，波長擴展，焦點等

•2D和3D輸出圖形和用戶友好的數(shù)據管理界面

••用于微米區(qū)域選擇的數(shù)字成像工具

•集成反射計，用于小范圍內的反射測量

系統(tǒng)配置：

探測器：探測器陣列

波長范圍可配置為190至1700nm

光源：基于SE和MSP的波長范圍

入射角更改：自動，帶有程序設置

階段：手動或自動映射階段

軟件：TFProbe 3.3

SE和MSP結合

電腦：Intel i3處理器

顯示器：22英寸寬屏液晶

電源：通用110– 240 VAC / 50-60Hz，6 A